[13a-P17-1~2] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[13a-P17-1] 融液からの切り離しによるCZ Si結晶内の引き上げ速度に依存した点欠陥分布の観察

〇阿部 孝夫¹、高橋 徹¹、白井 光雲² (1.信越半導体磯部研究所, 2.阪大産研)

キーワード：CZ、Si、点欠陥