[13p-A25-1~12] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[13p-A25-8] 界面ナノ構造を利用したIV族半導体へのMnδドーピング：機構解明

村田 晃一^{1, 2}、〇三木 一司^{1, 2}、新田 清文³、金澤 孝^{1, 2}、坪松 悟史^{1, 2}、日塔 光一¹、坂田 修身¹、寺田 靖子³、宇留賀 朋哉³ (1.物材機構, 2.筑波大数物, 3.JASRI)

キーワード：シリコン、ドーピング、マンガン