[13p-D1-1~11] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

△ [13p-D1-2] 水素・窒素気流中におけるβ-Ga₂O₃の熱的安定性の熱力学的検討

〇富樫 理恵¹、野村 一城¹、江口 千尋¹、蕗澤 孝紘¹、後藤 健²、村上 尚¹、熊谷 義直¹、倉又 朗人²、山腰 茂伸²、纐纈 明伯¹ (1.東京農工大院工, 2.タムラ製作所)

キーワード：半導体、熱力学解析、熱処理