11:30 〜 11:45 [13a-B9-11] 表面反応層の生成と熱脱離を用いたTiNの原子層レベルエッチング 〇篠田 和典1、三好 信哉1、小林 浩之1、栗原 優1、酒井 哲2、伊澤 勝2、石川 健治3、堀 勝3 (1.日立研開、2.日立ハイテク、3.名大)