10:45 〜 11:00 [15a-C302-7] ソフトプラズマにより室温で形成される非晶質炭化珪素薄膜の成膜速度と三フッ化塩素耐腐食性 〇MAI HONG MINH1、田中 茉莉亜1、塩田 耕平1、羽深 等1 (1.横国大院工)