11:00 〜 11:15 [14a-A26-8] プラズマ利用イオン注入法およびアークイオンプレーティング法で作製したダイヤモンド状炭素膜の比較 〇中尾 節男1、山田 保誠1、森口 秀樹2 (1.産総研、2.日本ITF)