13:30 〜 15:30 [15p-P6-6] バイポ-ラパルスバイアスシステムと組み合わせた反応性HPPMSによるSi含有DLCの成膜 鎌田 光速1、〇木村 高志1、中尾 節男2、東 欣吾3 (1.名工大工、2.産総研、3.兵庫県大工)