13:30 〜 15:30 [15p-P2-3] HMDS導入CVD樟脳カーボン薄膜の原料Si/C比依存性 〇羽坂 奨馬1、西村 謙太1、石川 博康1,2 (1.芝浦工大、2.SIT GI研究センター)