14:30 〜 14:45 △ [15p-B2-4] SiGe薄膜のラマンスペクトルに見られるブロードピークの起源の検討 〇武内 一真1、小瀬村 大亮1、横川 凌1、澤本 直美1、臼田 宏治2、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.(株)東芝)