11:00 〜 11:15 △ [15a-B10-9] ラマン分光法を用いた多結晶シリコン薄膜成膜プロセス依存の評価 〇鈴木 貴博1、横川 凌1、高橋 和也2、小森 克彦2、森本 保3、澤本 直美1、小椋 厚志1 (1.明治大理工、2.東京エレクトロン東北(株)、3.東京エレクトロン(株))