09:45 〜 10:00 △ [16a-B10-4] 非晶質Zr-Ge-N層上への金属堆積による低抵抗Geコンタクトの形成 〇岡本 隼人1、山本 圭介2、王 冬1、中島 寛2 (1.九大・大学院総合理工学府/研究院、2.九大・産学連携センター)