13:30 〜 15:30 [14p-P10-23] 室温原子層堆積法によるTiO2チャネル薄膜トランジスタの開発 〇菊地 航1、鹿又 健作1、三浦 正範1、有馬 ボシルアハマド1、久保田 繁1、廣瀬 文彦1 (1.山形大院理工)