10:45 〜 11:00 [15a-B2-4] 枚葉スピン方式を用いたフッ硝酸Siエッチングプロセス挙動解析 〇大井上 昂志1、齋藤 卓2、奥山 敦2、萩本 賢哉2、岩元 勇人2 (1.ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング、2.ソニーセミコンダクタソリューションズ)