14:30 〜 14:45 [15p-A23-6] 炭素クラスターイオン注入Siエピウェーハの特徴(2)ー 常温接合界面における酸素の捕獲能力(2) ― 〇古賀 祥泰1、栗田 一成1 (1.株式会社 SUMCO)