16:00 〜 16:15 [15p-A21-8] r面サファイア上へのa面AlN成長におけるバッファ層厚さ依存性 〇林 家弘1、玉置 真哉1、山下 泰弘1、三宅 秀人1,2、平松 和政1 (1.三重大院工、2.三重大地域イノベ)