16:15 〜 16:30 [16p-B10-10] プラズマCVD TEOS膜を熱拡散マスクに用いたミニマル液体ドーパントプロセスによるCMOS試作 〇古賀 和博1,2、居村 史人1,2、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ技術研究組合)