[13a-B7-1~11] 8.2 プラズマ診断・計測

[13a-B7-3] マイクロホローカソードプラズマのHe準安定原子計測に向けたレーザー吸収分光

〇(D)上野 佳祐¹、亀淵 健太¹、角谷 仁郎¹、松岡 雷士²、難波 愼一²、藤井 恵介¹、四竈 泰一¹、蓮尾 昌裕¹ (1.京大院工、2.広大院工)

キーワード：レーザー吸収分光、大気圧プラズマ

我々は大気圧近くでもプラズマを生成，維持が可能なマイクロホローカソードプラズマ発生装置を開発した。これは直径0.3 mmの穴の開いた陰極，絶縁体，陽極を有しており，プラズマは電極内の中空領域にて発生する。今回はガス種をHeとし，発生したプラズマに対し波長域1083 nmの光源を使用したレーザー吸収分光を行うことで，ペニングプロセスを通してプラズマの維持に重要な役割を果たすHe準安定原子の密度の空間分解計測を試みる。