[13a-B7-1~11] 8.2 プラズマ診断・計測

[13a-B7-4] ICP支援DCマグネトロン放電中の気体温度と容器壁温度の経時変化

〇松田 良信¹、品川 恭賢¹、筑紫 康弘¹、篠原 正典¹ (1.長崎大工)

キーワード：気体温度、半導体レーザー吸収分光、ICP

気体温度計測時の容器壁温度や基板温度を同時モニタすることにより，周辺温度が気体温度に直接影響することを確認した。外部共振器型半導体レーザー（ECDL）を用いた準安定Ar原子の吸収波長696.735nmの吸収線形状から準安定Ar原子密度と気体を導出した。プラズマ熱流束の流入とともに容器壁温度が温度上昇し，プラズマ中の気体温度は容器壁温度との温度差をほぼ一定に保ったまま，温度上昇した。