[14a-A37-1~10] 6.4 薄膜新材料

[14a-A37-1] PLD法によりSiOターゲットから作製したSiO₂薄膜の表面ラフネス評価

〇西 慎太郎¹、上岡 聡史¹、谷脇 将太¹、吉田 晴彦¹、新船 幸二¹、佐藤 真一¹、堀田 育志¹ (1.兵庫県立大学)

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