[14p-A25-1~21] 15.1 バルク結晶成長

[14p-A25-6] CZ-Si結晶成長シミュレーションによる装置構造の最適化

〇西原 雄太¹、小松 太樹¹、沓掛 穂高²、太子 敏則²、干川 圭吾² (1.エム・セテック（株）、2.信州大学)

キーワード：シミュレーション

太陽電池用Si単結晶は、年率10％を超える市場の拡大が期待され、低価格化および高品質化の要求が益々強まってきている。この問題を解決する為に、数値解析ソフトを用いて、CZ-Si結晶成長装置内部ホットゾーン(HZ)構造の最適化に取り組んでいる。本報告では、結晶成長時の加熱電力が計算値と実験値で一致することを確認し、さらに同モデルを用いて坩堝サイズの大型化に対する電力消費量から、HZ構造最適化を検討する。