[14p-A31-1~16] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [14p-A31-8] イオン液体／アナターゼTiO₂界面の電気化学特性

〇金井 茉莉子¹、丸山 伸伍¹、松本 祐司¹ (1.東北大院工)

キーワード：二酸化チタン薄膜、イオン液体、電気化学

SrTiO₃やアナターゼTiO₂は，高誘電率のn型半導体材料として，電気二重層トランジスタ等のデバイスへの応用が期待されており，半導体とイオン液体(IL)界面の電気化学特性を評価し，界面でのキャリア状態を解明することが重要である．ここでは，ILを用いることにより，膜厚の異なるアナターゼTiO₂を同一基板上に作製し，そのIL界面の電気化学特性を真空一貫で系統的に調べた結果を報告する．