[14p-A33-1~15] 機能性原子薄膜材料の新展開－成膜技術－

[14p-A33-10] スパッタMoS₂膜に対する有機硫黄化合物を用いた硫化アニール効果

〇石原 聖也^1,4、日比野 祐介¹、澤本 直美¹、大橋 匠²、松浦 賢太郎²、町田 英明³、石川 真人³、須藤 弘³、若林 整²、小椋 厚志¹ (1.明治大、2.東工大、3.気相成長(株)、4.学振特別研究員)

キーワード：二硫化モリブデン