[14p-A33-1~15] 機能性原子薄膜材料の新展開－成膜技術－

[14p-A33-14] パネルディスカッション －カルコゲナイド系層状物質薄膜成長の現状と諸問題－

〇島田 敏宏¹ (1.北大)

キーワード：パネルディスカッション、カルコゲナイド系層状物質

機能性原⼦薄膜材料の実用化にあたっては、大面積化可能な成膜技術の開発が必要である。当シンポジウムの招待講演者をはじめとする活発に研究を行っている研究者を中心に、CVD、スパッタ、MBE、ALDなど様々な手法に関して、原子薄膜の成膜技術の現状と問題点と将来展望について会場を交えて討論を行う。
パネラー（予定、敬称略）
招待講演者 吾郷浩樹（九大）、宮田耕充（首都大）、石原聖也（明治大）、林賢二郎（富士通研）、小野満恒二（ＮＴＴ物性基礎研）
世話人 安藤淳（産総研）、上野啓司（埼玉大）、佐藤信太郎（富士通研）、吹留博一（東北大）、島田敏宏（北大）
最終的なパネラーを含む詳細情報は講演会ホームページに掲載されるシンポジウム案内にてご案内します。http://meeting.jsap.or.jp/symposium.html