[14p-A33-1~15] 機能性原子薄膜材料の新展開－成膜技術－

[14p-A33-9] 面内原子層ヘテロ接合の成長と評価

〇宮田 耕充¹ (1.首都大理工)

キーワード：原子層、遷移金属ダイカルコゲナイド

原子層ヘテロ接合の実現に向け、我々のグループでは化学気相成長法に着目し、高品質原子層の合成から面内ヘテロ接合の実現まで研究を進めてきた。本発表では、主にMoS₂,WS₂等のTMDC原子層における高品質試料や面内ヘテロ接合の気相成長、そして界面物性の評価に関するこれまでの研究を紹介する。