[14p-A33-1~15] Trend of Functional Atomic Thin Film Research-Thin Film Growth-

[14p-A33-9] Growth and characterization of in-plane atomic layer heterojunctions

〇Yasumitsu Miyata¹ (1.Tokyo Metro. Univ.)

Keywords:Atomic layer, Transition metal dichalcogenides

原子層ヘテロ接合の実現に向け、我々のグループでは化学気相成長法に着目し、高品質原子層の合成から面内ヘテロ接合の実現まで研究を進めてきた。本発表では、主にMoS₂,WS₂等のTMDC原子層における高品質試料や面内ヘテロ接合の気相成長、そして界面物性の評価に関するこれまでの研究を紹介する。