[14p-A37-1~17] 6.4 薄膜新材料

△ [14p-A37-13] トポタクティックフッ素化反応を用いた鉄酸フッ化物／ルテニウム酸化物へテロ構造の作製

〇鈴木 雄介¹、近松 彰¹、小野塚 智也¹、長谷川 哲也^1,2 (1.東大院理、2.KAST)

キーワード：酸化物ヘテロ構造、酸フッ化物、トポタクティック反応