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一般セッション(口頭講演)

7 ビーム応用 » 7.5 イオンビーム一般

[14p-B6-1~12] 7.5 イオンビーム一般

2016年9月14日(水) 13:45 〜 17:15 B6 (展示控室2)

後藤康仁(京大)、二宮啓(山梨大)

14:15 〜 14:30

△ [14p-B6-2] 金属多結晶を用いたスパッタリング収率の結晶方位依存性の評価（１）

〇(M1)平井大陽¹、長﨑正雅¹、吉野正人¹、山田智明¹ (1.名古屋大)

キーワード：スパッタリング収率、結晶方位、EBSD