[14p-D61-1~20] 11.4 アナログ応用および関連技術

[14p-D61-12] 導波路結合型SSPDによるオンチップ二光子干渉計の作製I

〇和木 健太朗^1,2、山下 太郎²、井上 振一郎^2,3、三木 茂人²、寺井 弘高²、生田 力三¹、山本 俊¹、井元 信之¹ (1.阪大院基礎工、2.情通機構、3.JSTさきがけ)

キーワード：導波路結合型SSPD、二光子干渉、方向性結合器

近年，量子光学回路を基板上にワンチップに実装するモノリシック集積回路が注目されている．我々はこれまで高性能な導波路結合型SSPDの実現に向けて作製プロセスの確立を行い，従来型SSPDと同程度の超伝導特性及び内部効率を得た．そこで今回はモノリシック集積回路の実現に向けた次の段階として，導波路結合型SSPDによるオンチップ二光子干渉計の実現に向け，干渉計の設計及び作製を行ったので報告する．