[14p-P5-1~13] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[14p-P5-4] 齧歯類実験動物における特定音波検知MEMSセンサの作製

〇村上 修一¹、岩城 遼²、佐藤 和郎¹、田中 恒久¹、宇野 真由美¹、舘野 高² (1.大阪府立産技研、2.北海道大学)

キーワード：MEMS、音響センサ、PVDF

事故や病気で失った視覚や聴覚などの感覚機能を人工的に補綴する人工感覚器として、聴覚中枢系へ応用する補綴器の研究開発を行っている。今回、聴覚中枢系補綴器のフロントエンド・デバイスとして、強誘電ポリマー(P(VDF/TrFE)薄膜を搭載した圧電型MEMS音響センサについて、まずは、齧歯類実験動物をターゲットにして、その可聴域に高感度かつ周波数選択的に応答するよう設計し、試作・評価を行ったので報告する。