[15p-A23-1~20] 15.8 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[15p-A23-10] FZシリコン結晶中の酸素濃度の測定

〇井上 直久^6,1、大渕 真澄²、鵜野 浩行³、井上 敬子⁴、渡邉 香⁵、河村 裕一⁶ (1.東京農工大、2.ナノサイエンス、3.住重試験、4.東レリサーチ、5.システムズンジニアリング、6.大阪府大)

キーワード：FZシリコン結晶、酸素不純物濃度測定、赤外吸収

近年パワーデバイスにFZSi結晶も使われるようになり酸素濃度測定の高感度化が求められている。赤外吸収測定法のSEMI規格の推奨適用濃度範囲は1x10¹⁶cm^-3以上で15乗台の測定法が必要である。SIMSは高濃度ドープに対してSEMI規格があり15乗台の測定が行われデバイス特性との関係が議論されている。放射化分析は赤外換算係数の決定に用いられている基礎的方法で、8x10¹⁴cm^-3の測定実績があるが規格がない。三方法の測定と相互校正により全ての精度の向上のための検討を進めている。