[15p-A33-1~19] 17.2 Graphene

△ [15p-A33-10] Estimation of strain in freestanding graphene developed by dry transfer technique

〇hayato ishida¹, kazuaki sawada¹, kazuhiro takahashi¹ (1.Toyohashi Tech.)

Keywords:Graphene, Dry transfer

本研究では、グラフェンのデバイス応用に向け、新規ドライ転写技術による単層グラフェンキャビティ封止構造を形成し、ラマン測定による自立グラフェンのひずみの評価結果を報告する。