[15p-P14-1~71] 2 放射線（ポスター）

[15p-P14-67] 走査透過型電子顕微鏡搭載TES型マイクロカロリメータアレイのためのバイアス共通化読み出し回路のクロストーク評価

〇吉田 早耶香¹、高野 彬¹、前畑 京介¹、伊豫本 直子¹、原 徹²、山本 亮³、千葉 旭³、満田 和久³、山崎 典子³ (1.九大工、2.物質・材料研究機構、3.宇宙航空研究開発機構)

キーワード：多ピクセルアレイ、TES型マイクロカロリーメータ、クロストーク

走査透過型電子顕微鏡(STEM)に搭載するエネルギー分散型分光器(EDS)システムとして、64ピクセルアレイ化した超伝導相転移端温度計(TES)型X線検出器を開発した。信号読み出しには、バイアスラインを共通化した超伝導量子干渉素子(SQUID)を使用している。バイアスラインを共通化することでピクセル間におけるクロストークが観測された。そこで、クロストークがエネルギー分解能に与える影響を評価した。