2016年 第77回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[15p-P3-1~32] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2016年9月15日(木) 13:30 〜 15:30 P3 (展示ホール)

13:30 〜 15:30

[15p-P3-26] 透明酸化物半導体を用いたH２及びCO2センサの試作

〇田沼 涼1、中井 洋志1、中里 瞭汰1、杉山 睦1 (1.東理大 理工/総研)

キーワード：透明酸化物半導体、センサ