[16a-B4-1~13] 3.11 フォトニック構造・現象

[16a-B4-8] 低屈折率媒質埋め込み型高Q値ダブルスロット光ナノ共振器の作製

〇(M1)仲代 匡宏¹、鴻池 遼太郎^1,2、田中 良典¹、浅野 卓¹、野田 進¹ (1.京大院工、2.学振特別研究員)

キーワード：フォトニック結晶

Siフォトニック結晶光ナノ共振器は、光を微小領域に長時間閉じ込めることができるため、光(量子)情報処理等の高度な光制御への応用が期待される。近年、我々はキャリアプラズマ効果を用いた屈折率の動的な制御による、共振器Q値の動的制御や共振器間における光転送等を実証してきた。また前回の報告では、制御に用いる自由キャリアによる光損失を避けるため、Siスラブ中に形成した、ダブルスロット構造に電気光学効果を持つ材料を埋め込むことで、屈折率を電気的に制御する手法について理論的に検討を行った。今回、このような微細(~90 nm)なスロット構造を実際に作製し、これを低屈折率媒質で埋め込む実験を行ったので報告する。