[16a-C302-1~12] 15.6 IV族系化合物（SiC）

[16a-C302-1] SiC上酸化膜密度評価

〇飯塚 望¹、小澤 航大¹、蓮沼 隆¹、山部 紀久夫¹ (1.筑波大学)

キーワード：SiC、絶縁膜、膜密度