[16p-P6-1~22] 12.1 作製・構造制御

[16p-P6-21] 薄膜エッジを利用したNi₇₈Fe₂₂/Alq₃/Ni₇₈Fe₂₂ナノ接合の作製とその構造・電気伝導特性

三澤 貴浩¹、森 澄人¹、小峰 啓史²、星野 哲久³、芥川 智行³、藤岡 正弥¹、〇海住 英生¹、西井 準治¹ (1.北大電子研、2.茨大工、3.東北大多元研)

キーワード：分子、ナノ接合、薄膜

我々は、新たな分子ナノエレクトロニクス素子の創製を目指し、金属薄膜のエッジを利用したナノ接合素子を提案している。本素子は、金属薄膜のエッジとエッジが交差し、その間に分子が挟まれた構造となっている。この構造では、金属薄膜の膜厚によって接合面積が決定されるため、例えば、膜厚1−20 nmの金属薄膜を用いると、1×1–20×20 nm²のナノ接合素子が実現する。本研究では、このような新規な分子ナノエレクトロニクス素子の創製を目指し、Ni₇₈Fe₂₂/Alq₃/Ni₇₈Fe₂₂ナノ接合素子を作製し、その構造・電気伝導特性を調べることを目的とした。