11:15 〜 11:30 △ [20a-S224-7] 非化学増幅型電子線レジストにおける露光特性の分子量依存性 〇高山 智寛1、岸村 由紀子1、浅田 裕法1、星野 亮一2、河田 敦2 (1.山口大院理工、2.グルーオンラボ)