16:00 〜 18:00 △ [21p-P17-3] Multi-Line-Beam CLC poly-Si TFTsにおけるチャネル不純物導入の効果 〇平岩 弘之1、平田 達誠1、グエンティ トゥイ1、小谷 光司2、黒木 伸一郎1 (1.広島大ナノデバイス、2.東北大工)