11:30 〜 11:45 △ [20a-S224-8] 新規アクリル系ポリマー型電子線レジストの露光特性(Ⅱ) 〇落合 俊介1、髙山 智寛1、岸村 由紀子1、浅田 裕法1、國武 雅司2、星野 亮一3、河田 敦3 (1.山口大、2.熊本大、3.グルーオンラボ)