09:15 〜 09:30 [22a-W611-2] プラズマ支援反応性スパッタリングを用いたアモルファスIGZO薄膜トランジスタの低温形成 節原 裕一1、中田 慶太郎1、佐竹 義且1、〇竹中 弘祐1、内田 儀一郎1、江部 明憲2 (1.阪大接合研、2.イー・エム・ディー)