15:30 〜 15:45 [20p-S422-8] 離散不純物分布がもたらすT u n n e l F E T の特性ばらつきの数値解析 〇浅井 栄大1、右田 真司1、服部 淳一1、福田 浩一1、佐野 伸行2 (1.産総研、2.筑波大物工)