09:30 〜 09:45 [22a-W611-3] VHF-DC重畳マグネトロンスパッタによる平坦性向上機構の検討 〇巣山 拓1、福井 崇史1、瀬高 健太1、笹井 健典1、豊田 浩孝1,2 (1.名大工、2.名大プラズマナノ工学研究センター)