11:00 〜 11:15 [20a-S224-6] ビルトインレンズマスクリソグラフィによる高段差ステップ上への露光 〇田中 利樹1、笹子 勝1、菊田 久雄1、川田 博昭1、平井 義彦1 (1.大阪府立大)