13:30 〜 15:30 [20p-P9-15] SLS回数と成長温度の最適化によるInSb-HEMT構造の電気的特性向上 〇(M2)加藤 三四郎1、宮下 愛理、藤川 紗千恵、藤代 博記 (1.東京理科大学大学院)