[19a-P1-1~17] 7 ビーム応用（ポスター）

[19a-P1-5] クイックX 線反射率法の技術開発と応用

〇桜井 健次¹ (1.物材機構)

キーワード：リアルタイム計測、ダイナミクス、ガラス転移

Ｘ線反射率法は、薄膜・多層膜の深さ方向の構造を非破壊的かつ簡便に与える実用的な技術で
ある。これまで困難と考えれてきた時々刻々の変化を計測し、あるいは短時間に多量のデータを取得する技術の最新状況を応用例を含めて報告する。