[19a-S223-1~13] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[19a-S223-2] 次世代TCAD(2) ３次元デバイスシミュレータによる５段CMOSインバータチェーンの一括過渡解析

〇萩原 敦¹、原田 昌紀¹、桑原 匠史¹、大倉 康幸¹、山口 憲¹、小池 秀耀¹ (1.アドバンスソフト（株）)

キーワード：デバイスシミュレーション、インバータ、CMOS