[19p-W621-1~12] 8.4 プラズマエッチング

[19p-W621-1] ダウンフローエッチングにおける活性種輸送の考察

〇石川 健治¹、関根 誠¹、林 俊雄¹、堀 勝¹、堀池 靖浩² (1.名古屋大学、2.筑波大学)

キーワード：ケミカルドライエッチング、過酸化ラジカル

F系プラズマ下流へのO₂添加効果について、Fの過酸化ラジカル（・OOF）や過酸化物（F₂O₂）が下流域への活性種輸送に与える効果について調べたので報告する。