[19p-W834-1~17] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[19p-W834-1] 【講演奨励賞受賞記念講演】 MnAs/InAs ダブルヘテロ接合ナノワイヤの成長メカニズム

〇小平 竜太郎¹、椛本 恭平¹、崎田 晋哉¹、原 真二郎¹ (1.北海道大)

キーワード：有機金属気相選択成長、半導体InAsナノワイヤ、強磁性体MnAsナノクラスタ

強磁性体MnAsナノクラスタ (NC)/半導体InAs ダブルヘテロ接合ナノワイヤ (NW)を用いた新奇の高性能縦型NWスピンMOSFETの実現に向けて、MnAs NCのサイズや位置制御を目的に成長条件依存性を行い、その成長メカニズムを調査した。詳細な構造評価から、NCの形成にInAs NW中のIn及びAs原子の脱離が大きく影響していることが明らかになった。