[20p-H137-1~15] 7.5 イオンビーム一般

[20p-H137-2] 金属内包シリコンナノクラスター薄膜の創成とその化学的安定性

〇中嶋 敦^1,2,3、渋田 昌弘²、中谷 真人^1,3、太田 努¹、角山 寛規^1,3、江口 豊明^1,3 (1.慶大理工、2.慶應義塾KiPAS、3.JST-ERATO)

キーワード：ナノクラスター、マグネトロンスパッタリング、超原子

開発した高出力インパルスマグネトロンスパッタリング (HiPIMS)法を用いて、金属原子とシリコン原子が混合したナノクラスターを生成させた。金属原子1個がシリコン原子16個で内包された金属内包シリコンナノクラスター超原子のみを、質量選別によって固体基板への非破壊蒸着し、その蒸着形態と化学的安定性を走査プローブ顕微鏡と光電子分光によって評価した。TaSi₁₆が２成分超原子であることを明らかにした。