[20p-H137-1~15] 7.5 イオンビーム一般

[20p-H137-3] 高出力インパルスマグネトロンスパッタリングで生成した
金属クラスターイオンと窒素分子との反応の研究

〇秋元 健吾¹、水内 勇¹、山本 宏晃²、戸名 正英²、塚本 恵三^1,2、中野 元善¹、大下 慶次郎¹、美齊津 文典¹ (1.東北大院理、2.（株）アヤボ)

キーワード：金属クラスター